通過真空磁控濺射技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效鍍膜:在真空腔室內(nèi),靶材(鍍膜材料)受磁場約束的離子轟擊,濺射出原子或分子,這些粒子沉積到勻速移動(dòng)的基材表面形成膜。生產(chǎn)線采用多腔室串聯(lián)設(shè)計(jì),基材經(jīng)清洗、鍍膜、后處理等環(huán)節(jié)連續(xù)通過,各腔室獨(dú)立控制真空度與氣體成分(如通入氧氣或氮?dú)夂铣苫衔锬?。傳動(dòng)系統(tǒng)確保基材穩(wěn)定運(yùn)行,配合實(shí)時(shí)膜厚監(jiān)控動(dòng)態(tài)調(diào)整工藝參數(shù),保障膜層均勻性:廣泛應(yīng)用于顯示面板、太陽能電池、汽車玻璃等領(lǐng)域。
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